Ядерна фізика та енергетика Nuclear Physics and Atomic Energy   ISSN: 1818-331X (Print), 2074-0565 (Online)   Publisher: Institute for Nuclear Research of the National Academy of Sciences of Ukraine   Languages: Ukrainian, English   Periodicity: 4 times per year   Open access peer reviewed journal

Full text (ua)

V. M. Pugatch¹, V. L. Perevertailo², O. A. Fedorovitch¹, A. G. Borisenko¹, E. G. Kostin¹, M. P. Kruglenko¹, B. P. Polozov¹, L. I. Tarasenko<sup>2

1</sup>Institute for Nuclear Research, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine
²Research Institute of Microdevices, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine

Abstract: Elements of the technology are presented for the production of Microсtrip Metal Detectors (MSMD) designed for the charged particles beam as well as synchrotron radiation monitoring. Problems emerged for the photolithography as well as chemical etching applied to the supporting silicon wafer. Taking into account the acquired experience it was possible to produce stable MMSD plates with 32 strips (thickness 1 μm, width 30 μm, pitch 70 μm) at the working area of (10 × 10) mm², created by the plasma-chemistry etching of the silicon wafer. The MSMD prototypes produced under the developed technology were successfully tested in the scientific centre DESY (Hamburg).

1. Pugatch V., Aushev V., Bauer C. et al. Metal Foil Detectors and their applications. Nucl. Instr. Meth. A 535 (2004) 566. https://doi.org/10.1016/j.nima.2004.07.279

2. Pugatch V. M., Knoepfle K. T, Vasileiev Yu. O. Beam Profile Imaging Target. Nucl. Phys. A 701 (2002) 204. https://doi.org/10.1016/S0375-9474(01)01575-5

3. Borisenko A. G., Saenko V. A., Rudnitsky V. A. Nonself-Sustained Arc Discharge in Anode Material Vapors. IEEE Transactions on Plasma Science 27 (1999) 877. https://doi.org/10.1109/27.782253

4. Белевский В. П., Белоус М. В., Костин Е. Г., Чугаев В. Н. Влияние ионной бомбардировки в процессе осаждения плёнок на формирование их структуры, электрофизические и физико-технические свойства. Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектроника (Москва: ЦНИИ "Электроника", 1977) Вып. М5, c. 104.

5. Костін Є. Г. Переважні орієнтації кристалів в плівках молібдену та ніобію, які отримані термоіонним методом. Матеріали ювілейної Х Міжнар. конф. "Фізика і технологія тонких плівок" (Івано-Франківськ: Прикарпатський Нац. ун-т ім. Василя Стефаника, 2005) Т. 1, c. 130.

6. Борисенко А. Г., Полозов Б. П., Федорович О. А. и др. Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия. Технология и конструирование в электронной аппаратуре 6 (2005) 42.

7. Коновал В. М., Усталов В. В., Федорович О. А. ПХР с замкнутым дрейфом электронов для производства элементов с субмикронными размерами. Материалы 6-й Междунар. Крымской микроволновой конф. "КрыМиКо-96" (Севастополь, Крым, Украина, 1996) c. 285.

8. Попов А. Ю., Усталов В. В., Федорович О. А. О влиянии кислорода на анизотропию глубинного плазмохимического травления кремния в ПХР с замкнутым дрейфом электронов. Тез. докл. 7-й отрасл. конф. "Тонкие пленки в производстве п/п приборов и интегральных схем" (Москва, 1990) c. 118.

9. Pugatch V., Aushev V., Bauer C. et al. Micro-Strip Metal Foil Detectors for the Beam Profile Monitoring. Abstracts, 7th European Workshop DI-PAC 2005 (Lyon, France, 6 - 8 June 2005) p. 21.