Ядерна фізика та енергетика Nuclear Physics and Atomic Energy   ISSN: 1818-331X (Print), 2074-0565 (Online)   Publisher: Institute for Nuclear Research of the National Academy of Sciences of Ukraine   Languages: Ukrainian, English   Periodicity: 4 times per year   Open access peer reviewed journal

Full text (ru)

E. G. Kostin, V. V. Ustalov, O. A. Fedorovich

Institute for Nuclear Research, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine

Abstract: Qualitative composition of chemically active plasma which is formed in high-frequency (HF) plasmochemical reactor (PChR) has been investigated by mass-spectrometric methods. HF discharge in PChR was formed in crossed electric and controlled magnetic fields. The technique of mass-spectrometric investigation, which is proposed by the authors of this paper permitted to make the qualitative analyses of plasma in SF₆ gas discharge for working pressure in the interval 10^-4 ÷ 1 torr. High efficiency of dissociation of SF₆ molecules and radicals ionization was received. These ions and radicals are responsible for high sputtering speed of materials. Ions energy is in interval 50 ÷ 200 eV. The physical mechanisms for ion-radicals content in mass-spectrograms are briefly reviewed.

1. Данилин Б. С., Киреев В. Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов (Москва: Энергоатомиздат, 1987) 264 с.

2. Попов А. Ю., Усталов В. В., Федорович О. А. Плазмохимический реактор с замкнутым дрейфом электронов и его технологические возможности. Материалы межотрасл. науч.-техн. сем. "Физические основы и новые направления плазменной технологии в микроэлектронике" (Москва, 1991) T. 1, c. 54.

3. Коновал В. М., Усталов В. В., Федорович О. А. Плазмохимический реактор с замкнутым дрейфом электронов для производства элементов с субмикронными размерами. Материалы 6-й Междунар. конф. "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (Севастополь, Украина, 1996) c. 285.

4. Усталов В. В., Федорович О. А., Вдовенков А. А., Левицкая С. К. Плазмохимический реактор с низкой энергией ионов для селективного травления материалов. Материалы 10-й Междунар. конф. "СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" (Севастополь, Украина, 2000) c. 434.

5. Коновал В. М., Попов А. Ю., Усталов В. В., Федорович О. А. Модернизированный плазмохимический реактор с замкнутым дрейфом электронов для травления датчиков пироприемников. Матеріали щорічної наукової конференції ІЯД НАН України (Київ, 1995) c. 173.

6. Макарчук В. Н., Квицинский В. А. Заключительный отчет о выполнении НИР "Определение качественного состава и парциальных концентраций ионного компонента плазмы в рабочей среде ВЧ-магнетронного ПХ реактора" (Институт проблем энергосбережения АН Украины, Киев, 1989) 37 с.

7. Гейдон А., Пирс Р. Отождествление молекулярных спектров (Москва: Мир, 1950) 240 с.

8. Хьюбер К. П., Герцберг Г. Константы двухатомных молекул. В 2 ч. (Москва: Мир, 1984).

9. Герцберг Г. Электронные спектры и строение многоатомных молекул (Москва: Мир, 1969) 772 с.

10. Зайдель А. Н., Прокофьев В. К., Райский С. М., Шрейдер Е. Я. Таблицы спектральных линий (Москва: Госиздат физ.-мат. литературы, 1962) 608 с.

11. Стриганов А. Р., Одинцова Г. А. Таблицы спектральных линий атомов и ионов. Справ. (Москва: Энергоиздат, 1982) 312 с.

12. Плазменная технология в производстве СБИС. Под ред. Н. Айнспрука и Д. Брауна (Москва: Мир, 1987) 470 с.;

Wong L. Intel Corporation. Aloha. Oregon. Неопубликованные данные (1982).

13. Веденеев В. И., Гурвич Л. В., Кондратьев В. Н и др. Энергии разрыва химических связей. Потенциалы ионизации и сродство к электрону. Справ. (Москва, 1962) 216 с.

14. Краснов К. С., Тимошинин В. С., Данилова Т. Г., Хандожко С. В. Молекулярные постоянные неорганических соединений. Справ. (Изд-во "Химия", 1968) 254 с.