 |
Ядерна фізика та енергетика
ISSN:
1818-331X (Print), 2074-0565 (Online) |
| Home page | About |
Full text (ru) Peculiarities of the thin high-quality films formation by the vacuum arc discharge in the vapors of an anode material
A. G. Borisenko, V. A. Saenko, Yu. S. Podzirey
Institute for Nuclear Research, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine
Abstract: The results of experimental investigations of a nonself-sustained arc discharge in the vapors of an anode material are presented. The possibilities and the peculiarities of the discharge for a purpose formation of the sublayer-free high quality optical films and resistive layers with necessary parameters are shown.
References:1. Палатник Л. С., Фукс М. Я., Косевич В. М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок (Москва: Наука, 1972) 320 c.
2. Достанко А. П., Грушецкий С. В., Киселевский Л. И. и др. Плазменная металлизация в вакууме (Минск: Наука и техника, 1983) 279 с.
3. Ивановский Г. Ф., Петров В. И. Ионно-плазменная обработка материалов (Москва: Радио и связь, 1986) 232 c.
4. Раджабов Т. Д., Буравлев Ю. М., Лиходзиевский Ю. С. и др. Поверхность. Физика, химия, механика 1 (1989) 100.
5. Иевлев В. М., Бугаков А. В., Трофимов В. И. Рост и субструктура конденсированных пленок (Воронеж, ВГТУ, 2000) 386 с.
6. Шагінян Л. Р. Механізм формування тонких плівок, отримуваних різними методами іонно-плазмового осаджування: Автореф. ... д-ра фіз.-мат. наук (Київ, ІПМ НАН України, 2001) 36 с.
7. Saenko V. A. Devices for thermoionic deposition. Instrum. Experim. Techn. 28 (1985) 509.
8. Саенко В. А. Источники плазмы и ионов с однородно испаряемым электродом. Проблемы специальной электрометаллургии 3 (1997) 35.
9. Miller Н. С. Anode Modes in Vacuum Arcs. XVII-th Int. Symp. on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum (Berkeley, 1996).
10. Polishchuk V. P., Yartsev I. M. Vacuum ares on evaporating hot anodes. Thermophys. High Temperatures 34 (1996) 385.
11. Beilis I. I., Вохman R. L. A Hot Refractory Anode Vacuum Arc: Nonstationary Plasma Model. IEEE Trans. Plasma Science 29 (2002) 690. https://doi.org/10.1109/27.964455
12. Borisenko A. G., Vladimirov A. I., Goryuk S. V. et al. The metal vapor plasma accelerator. IV All-Union Conf., Plasma Accelerators Ion Injectors, Short Commun. (Dnepropetrovsk, Ukraine, 1986) p. 250.
13. Vladimirov A. I., Goryuk S. V., Saenko V. A. A plasma source of metal vapors. Instrum. Experim. Techn. 30 (1987) 395.
14. Борисенко А. Г., Кравченко А. В., Саенко В. А. Формирование диаграммы направленности ионной компоненты плазменного металлизатора диэлектриков. Сибирский физико-технический журнал 6 (1991) 78.
15. Borisenko A. G., Kravchenko A. V., Saenko V. A. Magnet-less plasma metallizer. Instruments and Experimental Techniques 35 (1992) 257.
16. Musa G. S., Ehrich H., Mausbach M. Studies on thermionic cathode anodic vacuum arcs. Vac. Sci. Technol. 12 (1994) 2887. https://doi.org/10.1116/1.578961
17. Борисенко А. Г., Саенко В. А. Несамостоятельный дуговой разряд в парах материала анода как источник технологического плазменного потока. Тр. Украинского вакуумного общества 1 (Київ, 1995) 106.
18. Musa G. S., Ehrich H., Schuhmann J. Pure Metal Vapor Plasma Source with Controlled Energy of lons. IEEE Trans. Plasma Science 25 (1997) 386. https://doi.org/10.1109/27.602516
19. Borisenko A. G., Saenko V. A., Rudnitsky V. A. Nonself-sustaining arc discharge in anode material vapors. IEEE Trans. Plasma Science 27 (1999) 877. https://doi.org/10.1109/27.782253
20. Nikitin N. N., Egorov V. A. Proc. of the 2nd Int. Symp. "Equipment and Technologies of Heat Treatment of Metals and Alloys in Engineering" (Part II) (Kharkov, Ukraine, Sept. 2001) p. 123.
21. Borisenko A. G., Saenko V. A. Vacuum Arc Discharge in Anode Material Vapors with the Gas Inlet. 19th Int. Symp. on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum (Xi'an, China, 2000) p. 309. https://doi.org/10.1109/DEIV.2000.877310
22. Сагитов С. И. Зеркала для ультрафиолетовой и инфракрасной областей спектра. Инфракрасные лазеры с когерентной накачкой и лучевая стойкость оптических материалов (Тр. ФИАН, т. 136): Сб. ст. (Москва: Наука, 1982) с. 118.
23. Borisenko A. G., Saenko V. A., Podziray J. Plasma flow parameters of vacuum arc discharge in the vapors of anode material. 20th Int. Symp. on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum (Tours, France, 2002) p. 346.
24. Свойства элементов. В 2 ч. Ч. 1. Физические свойства: Справ. 2-е изд. (Москва: Металлургия, 1976) 600 с.
25. Гостра З. Ю. Справочник по технологии микроэлектронных устройств (Львів: Каменяр, 1986) 287 с.